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中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化

齐鲁晚报     2021年03月18日
　　记者17日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。　　　新华

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